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    電子廠防靜電措施實踐篇(四)車間的個別靜電對策之一

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    這章節開始將記述防靜電對策的個別內容。 

    另外,下表為半導體取拿工程中靜電對策的實施內容及必要項目。所以在實施時要與各事業部的靜電對策擔當者進行商談檢討。再說,這里的所謂重點管理工程是指對工程上有帶電電位在50V以下的設計必要的場所進行估計并區分。◎必須實施○實施△根據需要實施

    工廠環境

    1. 靜電對策用接地線的設置(NO.①-1)

    目的:為了將已產生的靜電導入接地

    實施順序 

    1)對直徑為1.6mm 以上的導線,與備用接地線分開單獨鋪設靜電對策用接地線。 

    2)靜電對策用接地線進行專門接地時,跟設備接地一樣通過接地點接地。  

    要點

    1)對于靜電對策用接地線,如果有外傷保護和耐蝕性要求的話,使用絕緣皮導線。由于很難發現導線內部導線斷裂,所以1年至少進行一次導通測試。 

    2)為了防止人體在設備漏電時觸電并進行防靜電對策,各接地點接地間 的阻值應按以下值設定。 

    接地間阻值:7.5*10^5-1.0*10^9Ω(IEC 61340) 

    3)工廠外的接地以D接地工事為基本,在連接超過300V低電壓電路時,進行C 種接地工事,(舊特別第3種:接地電阻10Ω以下)※ 

    另外,對于接地電阻1年至少應確認一次。 

    4)由于鋪設靜電對策用接地線有一定的困難,如果不得已要利用設備接地線的話,靜電手環和接地線阻值應保持在適當的范圍內以確保人身安全。

    2.運用加濕器控制工程內的溫度(NO.①-2)

    目的:為了避免因濕度上升絕緣體表面阻率下降造成靜電的產生。

    實施順序

    1)根據外面空氣的流入風量及室內室外的絕對濕度,計算必要的加濕量(kg/h)。

    2)充分考慮蒸氣品質、設備能力、維修保養性等各方面因素,導入加濕器。

    3)設置后在多個場所設置濕度監控器進行濕度管理。 

    要點

    1)如果濕度在65%以上將會有明顯的影響,可能增加作業者的不快感。比如說,濕度為60%溫度為22℃時,不會感覺到不快,但到了28℃ 就會感到不快。關注與溫度的關系,濕度保持在50~60%較好。

    2)加濕時,注意金屬與壁上的結露。另外,若將IC長時間置于高濕度的 環境中,有可能發生膨脹變形所以要特別留意。 

    3)還有,滴下浸透方式由于各不相同,各有各的特點。

    作業環境——作業床對策(NO.②-1)

    實施項目:防止作業床帶電

    目的:為了防止因作業帶電 

    實施順序 

    1)鋪設表面阻率為10^4~10^9Ω/□的導電墊并連接接地接點。 

    2)另外再鋪上不銹鋼鋼板,增加1MΩ的電阻連接。 

    要點<導電墊>(靜電皮)

    1)2層構造的導電墊(綠),應從內側的黑面接地。 

    2)阻值高的雖較便宜,但存在衰減時間變長的缺點。 

    同樣,單層構造的導電墊(黑)也較便宜,但隨著面積的增大阻值也 相應變高,所以選定時應多加留意。 

    3)一旦導電墊表面變臟,表面阻率也變大,同時衰減時間變長,應使用 加入了界面活性劑的中性洗滌劑進行擦拭。 

    4)為了確認效果,要求根據「⑧-2接地間(泄露)阻值的測定方法」定期 檢查接地間(泄露)阻值。 

    ※規格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340) 

    5)導電墊的接地點應用螺絲等進行機械固定。 <不銹鋼鋼板> 

    1)不要忘記在接地線接續點之間放入1MΩ的電阻。

    實施項目:搬運路徑的接地處理(NO.②-3)

    目的:為了防止運輸基板時產生靜電。 

    實施順序

    1)為確保搬運路徑的暢通,在其范圍內鋪設不銹鋼鋼板?;蚴窃诜秶鷥让扛?米鋪設10厘米的不銹鋼鋼板。

    2)另外在通道上再鋪上導電墊。 

    要點

    1)不銹鋼鋼板之間用接地線連接,使用包含1MΩ電阻的防靜電用接地線。 

    2)對搬運用的臺車應進行防靜電對策。

    作業臺對策(NO.②-2

    實施項目:作業臺前鋪導電墊并接地

    目的:為了將作業臺上產生的靜電適度地安全導入地下。 

    實施順序

    1)鋪設表面阻率為10^4~10^9Ω/□的導電墊,并連接接地點。 

    2)導電墊接地點接續時,鉚釘等注意不要外突。 

    要點 

    1)橡膠墊為絕緣體,可以絕對地避免高電位的帶電。 

    2)作業臺表面鋪設金屬板可以避免部品帶電時突然放電造成損傷。 

    3)導電墊的表面變臟阻率就變高,也容易帶上電,所以應使用加入了界面 活性劑的中性洗劑進行擦拭。 

    4)作為效果確認,根據「⑧-2接地間(泄漏)阻值的測定方法」,定期檢查確認 接地間(泄漏)阻值。 

    ※規格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340)

    作業椅對策(NO.②-3

    實施項目:作業椅防靜電對策

    目的:為了將椅子與作業服摩擦接觸產生的靜電導入地下。 

    實施順序

    1)使用防靜電作業椅,如果輪子不能直接接地的話,就直接通過鏈子接地面的接地線。 

    2)對于沒有進行靜電對策的作業椅,應套上防靜電的背套和座套并 與鏈子相連,鏈子的一端與地面相接。 

    3)地面應鋪上導電墊或不銹鋼鋼板進行靜電對策。 

    要點

    1)由于鏈子會因表面腐蝕出現導通不安定,所以一個月應檢查一次。 

    2)鏈子有可能浮起,所以作業前應進行檢查。

    導電墊或不銹鋼鋼需加入1MΩ的電阻接接地線鏈 

    〈參考:接地間阻值的確認〉 

    效果確認

    1)導電輪和鏈子等接地的部分應接觸金屬板。 

    2)座墊和金屬板上都應連接測定電極。

    3)絕緣電阻針輸出功率100V,30秒后才能

    讀取數值。

    4)規格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω以(上限值IEC 61340)進行判定。

    ※測定機器參照「⑧-2接地間電阻的測定方法」。

    臺車(周轉車)對策(NO.②-4

    實施項目:運載半導體的臺車應進行防靜電對策

    目的:為了防止臺車移動中帶電。 

    實施順序

    1)搭載面的表面應鋪設表面阻率為10^4~10^9Ω/□的導電墊。

    2)導電墊先與鏈子相連,再將鏈子的一端連接地面。

    3)地面一定要鋪設導電墊和不銹鋼鋼板進行對策。

    要點

    1)由于與金屬板重疊容易導致導通的不穩定,所以導電墊的接續應用螺絲等進行機械性固定。

    2)臺車的鏈子不能生銹。 

    3)車輪如果具靜電擴散性的話,從各段的導電墊到車輪需要接地,同時可以取消鏈子。 

    電子廠防靜電措施實踐篇(四)車間的個別靜電對策之一到此為止,想了解更多知識的請關注我們的公眾號:dgbabu

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